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PF TEM原位加熱與電學(xué)芯片系統(tǒng)

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透射電子顯微鏡是的提供在較高時(shí)間分辨率下得到原子級(jí)空間分辨率的實(shí)驗(yàn)手段

詳細(xì)介紹


透射電子顯微鏡是的提供在較高時(shí)間分辨率下得到原子級(jí)空間分辨率的實(shí)驗(yàn)手段。透射電子顯微鏡加熱與電學(xué)芯片系統(tǒng)是在標(biāo)準(zhǔn)外形的透射電鏡樣品桿內(nèi)安裝MEMS工藝制成的微加熱芯片和電學(xué)測(cè)量芯片。微加熱芯片可對(duì)樣品進(jìn)行可控溫度的加熱，電學(xué)測(cè)量芯片可對(duì)樣品進(jìn)行電性質(zhì)測(cè)量。并可在進(jìn)行加熱和電學(xué)測(cè)量的同時(shí)，動(dòng)態(tài)、高分辨地對(duì)樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、元素價(jià)態(tài)進(jìn)行綜合表征，極大拓展了透射電鏡的功能和應(yīng)用范圍。


本系統(tǒng)硬件包含兩部分：加熱和電學(xué)測(cè)量控制器及原位芯片樣品桿。軟件系統(tǒng)包括自動(dòng)控溫軟件和自動(dòng)電學(xué)測(cè)量軟件。











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